電子半導(dǎo)體晶圓級封裝對溫度控制精度要求達(dá)到納米級別,蘇州新久陽機(jī)械的晶圓級封裝專用模溫機(jī),以優(yōu)異的溫控性能保障封裝質(zhì)量。
在晶圓鍵合工藝中,溫度的微小波動(dòng)都會(huì)影響鍵合強(qiáng)度和可靠性。新久陽機(jī)械的晶圓級封裝模溫機(jī)采用亞微米級溫度傳感器和先進(jìn)的 PID + 自適應(yīng)控制算法,控溫精度高達(dá) ±0.1℃。設(shè)備通過實(shí)時(shí)監(jiān)測晶圓溫度,并根據(jù)鍵合工藝要求,精確調(diào)節(jié)加熱板溫度,確保鍵合過程中溫度穩(wěn)定。在倒裝芯片鍵合時(shí),將溫度精確控制在 250 - 300℃,鍵合強(qiáng)度提升 30%,有效降低芯片脫落風(fēng)險(xiǎn)。
此外,該模溫機(jī)具備超潔凈設(shè)計(jì),采用全封閉管路和無塵材料,避免污染晶圓。在某半導(dǎo)體制造企業(yè)的實(shí)際應(yīng)用中,使用新久陽模溫機(jī)后,晶圓級封裝的良品率從 88% 提升到 96%,助力企業(yè)在高端半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域占據(jù)優(yōu)勢。
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